DZ-150系列臺式掃描電鏡體型小巧,占用空間小,結構設計簡潔,易于維護及保養;*大放大倍率是15萬倍,放大倍率30~150,000 X ;5nm分辨率;采用二次電子和背散電子雙重探測器;加速電壓有1~30KV,多檔可選,圖像分辨率高;配備4個可變光闌(30,50,50,100μm),通過改變電子束大小可提供高分辨率圖像;自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品;高真空設計,可調式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環境。通過選配EDS可進行元素成份分析;可選配CCD樣品導航、Tilt(0~90)載物臺。
DZ-150系列掃描電鏡具有強大軟件功能,軟件實現檢測圖形實時存儲,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單,易于維護
技術參數 |
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分辨率 |
5nm (30kV,SE) |
放大倍率 |
20x~150,000x |
加速電壓 |
1~30kV |
探測器 |
SE 探測器,可選配BSE探測器,EDS等 |
電子槍 |
預對中鎢燈絲 |
透鏡系統 |
聚光鏡:2段式磁線圈透鏡 |
載物臺 |
3軸(X,Y,R,)X,Y軸 40mm / R軸 : 360° 可選5軸樣品臺:X:40mm, Y:40mm, Z:40mm, R:360°,T:0~90° |
圖像偏移 |
X,Y軸圖像偏移(±150μm) |
光闌 |
可調節光闌(30/50/50/100μm) |
樣品*大尺寸 |
高度35mm時*大直徑80mm |
圖像掃描 |
快速掃描:320*240 低速掃描:640*480 |
自動功能 |
自動啟動、自動亮度對比度調節、自動初始化 |
圖像存儲格式 |
BMP, JPEG, PNG, TIFF |
圖片顯示數據 |
放大倍率、探測器類型、加速電壓、真空模式、比例尺、LOGO、日期和時間 |
真空方式 |
高真空模式,機械泵,分子泵,抽真空時間:3分鐘以內 |
設備尺寸 |
460(W)*600(L)*950(H)mm |
運行環境 |
溫度:15~30℃,濕度:≤70% 電源:單相220AC 1KW 50/60Hz |
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